| 是否进口：否 | 产地：安徽 | 加工定制：是 |
| 品牌：智测电子 | 型号：tc wafer |
晶圆热电偶温度传感器 TC Wafer热电偶
产品概述
TC为热电偶的简称， TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）
TC Wafer热电偶 晶圆热电偶温度传感器 半导体热电偶
技术参数
名称：Wafer-Tc晶圆热电偶温度传感器
工艺：低温：-150-700℃硅基胶粘剂 高温：-150-1200℃焊接设计
传感器引线：可定制
绝缘材料：石英，Teflon，二氧化硅，陶瓷，PA
产品特点
半导体制造厂 Fab，PVD/CVD 部门、RTP 部门等使用
传感器可以定制
高精度多通道数据采集仪
优异的软件功能，方便数据统计、趋势绘图和数据导出
